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海目星攜手福州大學(xué)攻克Micro LED巨量檢測難題

編輯： 2025-05-13 15:33:29 瀏覽：555 來源：

近日，海目星攜手福州大學(xué)成功研制出國內(nèi)首款晶圓級Micro LED芯片非接觸電致發(fā)光檢測工程樣機(jī)FED-NCEL，有效解決Micro LED行業(yè)共性檢測技術(shù)問題，填補(bǔ)了行業(yè)關(guān)鍵領(lǐng)域空白，引領(lǐng)我國高速高精半導(dǎo)體顯示行業(yè)邁向高質(zhì)量發(fā)展新階段。

2015年開始，福州大學(xué)吳朝興教授團(tuán)隊開展LED非接觸電致發(fā)光原理研究，隨后提出Micro LED芯片的無接觸電致發(fā)光檢測方案，即在外部檢測電極與Micro LED芯片之間不接觸的情況下實現(xiàn)LED芯片的電致發(fā)光。在該模式中，外部電極不是為LED注入載流子，而是用于形成垂直于LED多量子阱層的電場，從而 “隔空”點亮LED芯片。

這種檢測方法既避免了傳統(tǒng)檢測方法在檢測過程中對Micro LED芯片造成的物理性損壞，又避免了光致發(fā)光檢測造成的芯片良品率“虛高”的現(xiàn)象。除此之外，還能避免自動光學(xué)檢測在檢測過程中將表面形貌完好但無法發(fā)光的Micro LED芯片誤判為正常芯片的情況。

2024年，海目星攜手福州大學(xué)吳朝興教授團(tuán)隊，開展復(fù)雜電磁環(huán)境中的“機(jī)械-電氣-發(fā)光-采集”功能模組的設(shè)計與整合，以及控制與光電采集信號的同步，成功研制晶圓級Micro LED芯片的非接觸電致發(fā)光檢測工程樣機(jī)FED-NCEL，突破產(chǎn)業(yè)化“最后一公里”。

基于該樣機(jī)的研發(fā)成果，可對紅、綠、藍(lán)Micro LED外延片、晶圓（COW）以及轉(zhuǎn)移到臨時載板的芯片（COC）進(jìn)行無接觸電致發(fā)光檢測。

樣機(jī)高精度、高穩(wěn)定性、高效率的技術(shù)特點，極大提升了工藝良率水平，降低制造成本，為我國Micro LED產(chǎn)業(yè)提供了本土化的解決方案，以高質(zhì)量創(chuàng)新助推行業(yè)躍進(jìn)。

■ 檢測實例：

紅光COC氮化鎵Micro LED芯片檢測

紅、綠、藍(lán)COW氮化鎵Micro LED芯片檢測

由圖可見，晶圓級Micro LED芯片的非接觸電致發(fā)光檢測不受芯片位置影響，可以較好地隔空點亮芯片。

據(jù)了解，海目星身為新型顯示產(chǎn)業(yè)鏈上的領(lǐng)先企業(yè)，不斷在全球賽道中搶占技術(shù)高地，推動產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級。2024年7月，海目星與福州大學(xué)合資成立深圳海納半導(dǎo)體裝備有限公司，聚焦各類新型顯示及第三代半導(dǎo)體檢量測設(shè)備，為提升行業(yè)良率提供高速高精的解決方案。今年4月，海目星還與閩都創(chuàng)新實驗室正式成立“半導(dǎo)體檢量測裝備研發(fā)中心”，進(jìn)一步深化產(chǎn)學(xué)研融合，賦能半導(dǎo)體顯示產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展。

海目星、閩都創(chuàng)新實驗室成立研發(fā)中心