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4月7日，“昆山夢(mèng)顯電子科技有限公司OLED微顯示器生產(chǎn)項(xiàng)目”在昆山市人民政府網(wǎng)站上進(jìn)行了環(huán)境影響評(píng)價(jià)報(bào)批前公示。

公示文件指出，昆山夢(mèng)顯電子科技有限公司成立于 2018 年 12 月，企業(yè)位于江蘇省昆山高新區(qū)晨豐路 188號(hào) 3 號(hào)房，屬昆山維信諾科技有限公司子公司。公司經(jīng)營(yíng)范圍：平板顯示器件的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售；電子產(chǎn)品及其零配件、電子專(zhuān)用材料的銷(xiāo)售及組裝，并提供售后及相關(guān)咨詢(xún)服務(wù)；貨物或技術(shù)進(jìn)出口業(yè)務(wù)。（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)）。公司擬在昆山高新區(qū)晨豐路 188 號(hào) 3 號(hào)房投資 3.6億元整，進(jìn)行 OLED 微顯示器生產(chǎn)項(xiàng)目，擬購(gòu)置大蒸鍍?cè)O(shè)備、清洗機(jī)等設(shè)備。項(xiàng)目完成后，預(yù)計(jì)年產(chǎn) OLED 微顯示器 60000 大片。

圖片來(lái)源：昆山市人民政府網(wǎng)

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工藝流程說(shuō)明：

圖片來(lái)源：昆山市人民政府網(wǎng)

工藝流程說(shuō)明：

(1)清洗烘干

利用蒸鍍前清洗機(jī)清洗掉背板上沾染的少量灰塵顆粒物，清洗過(guò)程中不添加酸、堿等清洗劑、添加劑等化學(xué)試劑，清洗流量為30L/min，年清洗時(shí)間為2400h/a，清洗用純水定期更換，此過(guò)程會(huì)產(chǎn)生清洗水；

(2)蒸鍍

小分子有機(jī)薄膜采用真空蒸鍍法沉積成膜。其具體操作是在真空中加熱蒸發(fā)容器中待形成薄膜的原材料，使其原子或分子從表面氣化逸出，形成蒸汽流，入射到Wafer的表面，凝結(jié)形成固態(tài)薄膜，加熱方式為電阻絲加熱，根據(jù)不同材料溫度設(shè)置在100-400℃之間。本項(xiàng)目蒸鍍工藝中，各種有機(jī)材料HIL、NPB、HD及紅、藍(lán)、綠發(fā)光有機(jī)材料大部分通過(guò)加熱蒸鍍到器件上，成為器件（產(chǎn)品）的組成部分；微量蒸鍍到真空腔室的內(nèi)璧，通過(guò)無(wú)塵布用無(wú)水乙醇擦拭，蒸鍍?cè)O(shè)備真空泵需定期更換真空泵油，此過(guò)程會(huì)產(chǎn)生擦拭廢布、真空泵油、噪聲；

(3)ALD沉積、CVD沉積

原子層沉積（Atomiclayerdeposition)是一種可以將物質(zhì)以單原子膜形式一層一層的鍍?cè)诨妆砻娴姆椒ǎ换瘜W(xué)氣相沉積(CVD)是指將兩種或兩種以上的氣態(tài)原材料導(dǎo)入到一個(gè)反應(yīng)室內(nèi)，然后他們相互之間發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成一種新的材料，沉積到晶片表面上的方法，該過(guò)程原子層沉積設(shè)備、化學(xué)氣相沉積設(shè)備，在450℃的高溫下，通過(guò)流量控制器精準(zhǔn)控制加入三甲基鋁、四氯化鈦、SiH4、NH3、N2、O2、N2O、NF3等氣體，在電場(chǎng)作用下進(jìn)行等離子體放電發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并進(jìn)行薄膜的沉積，本項(xiàng)目根據(jù)不同工藝要求需進(jìn)行加熱，ALD沉積采用電阻絲加熱，溫度為90℃，CVD沉積采用溫水間接加熱，溫度為80℃。

ALD沉積原理為：三甲基鋁經(jīng)過(guò)氧化形成三氧化二鋁薄膜層，副產(chǎn)物為二氧化碳和氫氣，未反應(yīng)的三甲基鋁為有毒氣體，連同氣態(tài)副產(chǎn)物最終以有毒廢氣的形式通過(guò)POU設(shè)施處理，再經(jīng)過(guò)布袋除塵設(shè)施和噴淋塔處理后外排，三甲基鋁為易燃?xì)怏w，基本完全燃燒；

CVD沉積原理為：通過(guò)反應(yīng)氣體NH3、SiH4、NF3（攜帶氣體N2、H2、Ar）的化學(xué)反應(yīng)，在基片上沉積氧化硅，氮化硅作為絕緣層、鈍化層薄膜。在CVD工序的反應(yīng)器中，反應(yīng)氣體與攜帶氣體不斷流過(guò)反應(yīng)室，大部分反應(yīng)氣體經(jīng)過(guò)反應(yīng)消耗并生產(chǎn)氣態(tài)副產(chǎn)物，未反應(yīng)的氣體由于混入大量廢氣，成分復(fù)雜，難以回收利用，通過(guò)排氣管道排到特殊的氣體處理設(shè)備(scrubber)以天然氣為燃燒源進(jìn)行燃燒處理，尾氣再通過(guò)布袋除塵設(shè)施和噴淋洗滌塔處理。主要反應(yīng)式如下：

(4)點(diǎn)膠、貼合、固化

把鍍膜后的基片（膜層向內(nèi)）和無(wú)導(dǎo)電層的基片用封裝膠進(jìn)行點(diǎn)膠，之后用紫外線（固化），在此過(guò)程中UV膠全部進(jìn)入產(chǎn)品，此過(guò)程會(huì)產(chǎn)生噪聲，廢包裝桶；

(5)切割打線

將制得的顯示器件按需要切割成為顯示屏成品。在電子模塊工作間，將外購(gòu)的電路板和芯片等焊接，并與顯示屏相連，制得最終的顯示器成品，此過(guò)程會(huì)產(chǎn)生噪聲、廢玻璃；

(​6)測(cè)試、模組

顯示器經(jīng)過(guò)測(cè)試模組后即為成品，測(cè)試過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生不合格品，經(jīng)過(guò)重復(fù)修復(fù)后即可，此工序會(huì)產(chǎn)生噪聲。

在生產(chǎn)過(guò)程中，治具上會(huì)沾染到油污、灰塵等雜質(zhì)，需利用Mask清洗機(jī)及SMIF清洗機(jī)進(jìn)行浸泡清洗，清洗用到N-甲基-2-吡咯烷酮（NMP）、異丙醇、丙酮、乙醇等有機(jī)溶劑，此過(guò)程會(huì)產(chǎn)生廢有機(jī)溶劑和有機(jī)廢氣。