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　　近年來，隨著高分辨率智能手機的盛行以及智能手機屏幕平均尺寸的持續(xù)增大，基于LTPS技術(shù)面板的需求將持續(xù)走高。為了應(yīng)對中國市場對中小尺寸LTPS面板的龐大需求，2015年3月，應(yīng)用材料公司在上海舉行了“推動中國通信行業(yè)發(fā)展和低溫多晶硅顯示面板量產(chǎn)”的媒體說明會。

　　過去的二十年，顯示技術(shù)飛速發(fā)展，低溫多晶硅開始應(yīng)用于高清顯示面板和AMOLED 面板的生產(chǎn)制造。應(yīng)用材料公司顯示產(chǎn)品事業(yè)部首席營銷官Max McDaniel表示，目前中國面板廠商正積極投資LTPS （低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示面板）技術(shù)以供應(yīng)中小尺寸高清面板。雖然中國面板廠商期望擴大LTPS面板產(chǎn)能，但對于一些剛加入的廠商來說，建廠之后產(chǎn)能提升的同時，LTPS面板廠的運作效率和良率是急需解決的大問題。

　　 應(yīng)用材料公司顯示產(chǎn)品事業(yè)部首席營銷官Max McDaniel

　　Max認為，“對顯示行業(yè)來講，分辨率、尺寸和形狀始終是驅(qū)動它發(fā)展的三個因素。其中，分辨率與尺寸這兩個在所有的顯示終端，從電視到移動終端都一直在往高標準發(fā)展。柔性顯示這種形式為顯示應(yīng)用賦予了新的發(fā)展意義，開創(chuàng)了自由改變顯示屏幕形狀的可能。”

　　本次說明會上，應(yīng)用材料公司重點介紹了針對LTPS面板生產(chǎn)所需的最新型號CVD設(shè)備和PVD設(shè)備。據(jù)介紹，在傳統(tǒng)的電視、顯示器和筆記本電腦領(lǐng)域，應(yīng)用材料公司為業(yè)界提供了制造薄膜晶體管液晶顯示所需的核心關(guān)鍵設(shè)備，從陣列CVD、陣列PVD到陣列測試和彩色濾光片PVD設(shè)備；在新型的OLED顯示、平板電腦和智能機顯示領(lǐng)域，應(yīng)用材料公司提供了低溫多晶硅、金屬氧化物、觸摸屏和薄膜封裝等成膜設(shè)備。

　　應(yīng)用材料公司顯示器事業(yè)部中國區(qū)資深銷售經(jīng)理方甦棣女士介紹：“應(yīng)用材料公司的CVD化學(xué)氣相沉積設(shè)備，采用其獨創(chuàng)的空心陰極技術(shù)，能在相對較低的射頻下形成較強的均勻化等離子體分布，以實現(xiàn)更高的成膜速率和更致密膜層，同時有效地避免了高射頻所帶來的潛在的異常放電和對工藝腔體部件的損傷。對于LTPS面板生產(chǎn)而言，更致密的膜層意味著可在更薄的膜層情況下有效減少漏電流的產(chǎn)生。還有異物顆粒是一個不可避免的東西，關(guān)鍵就是如何去避免和降低異物顆粒的程度，這很大程度取決于設(shè)備制造商多年積累下來的生產(chǎn)和設(shè)計制造經(jīng)驗。目前應(yīng)用材料公司通過長期的設(shè)計、安裝、調(diào)試，已經(jīng)向全球所有主要面板商提供了數(shù)百臺五代線以上的設(shè)備。針對目前市場上投資比較火熱的六代LTPS面板線，應(yīng)用材料公司推出的25KPXi CVD設(shè)備，采用多個降低顆粒的細節(jié)設(shè)計，以滿足用戶對于LTPS的更少更小缺陷性顆粒產(chǎn)生的需求。”

　　據(jù)了解，應(yīng)用材料公司已在臺灣臺南科學(xué)工業(yè)園區(qū)設(shè)立臺南顯示實驗室。臺南顯示實驗室目前已有可用于金屬氧化物工藝的8.5代55KSCVD設(shè)備，用于彩膜ITO和各種觸控屏鍍膜的在線PVD設(shè)備，以及6代尺寸的用于陣列生產(chǎn)的PVD機臺。應(yīng)用材料公司還計劃2015年的第二季度在臺南的研發(fā)中心導(dǎo)入新型CVD機臺，實現(xiàn)LTPS工藝的深度開發(fā)整合，更好地支持客戶做好量產(chǎn)工藝的開發(fā)和準備，從而縮短客戶量產(chǎn)工廠的爬坡時間。

　　  應(yīng)用材料公司資深工程師林宛瑜博士

　　另外，應(yīng)用材料公司臺南顯示實驗室的資深工程師林宛瑜博士也針對PVD設(shè)備做了詳細介紹。她表示，“應(yīng)用材料公司PVD設(shè)備利用革命性的旋轉(zhuǎn)靶技術(shù)，實現(xiàn)腔體內(nèi)氣壓的穩(wěn)定，提高成膜的均勻度。靶材使用率的提高，提升了設(shè)備稼動率，降低了客戶運行成本。”

　　PVD設(shè)備可以實現(xiàn)均勻的，優(yōu)良刻蝕殘留性能的ITO成膜：第一、旋轉(zhuǎn)陰極陣列保證ITO成膜的均勻性；第二、穩(wěn)定的反應(yīng)制程可實現(xiàn)理想的電阻和透光性；可控的制程優(yōu)化實現(xiàn)無刻蝕殘留的ITO沉積；為形成的深孔進行出色的階梯覆蓋。同時，應(yīng)用材料公司的旋轉(zhuǎn)陰極可以控制陰極磁鐵的旋轉(zhuǎn)方向從而控制成膜的速度，更好地進行缺陷和靶材侵蝕的控制，達到一個非常好的均勻度；旋轉(zhuǎn)靶材的自清潔特性可以極大改善靶材表面光整度，大幅度提升靶材利用率和靶材壽命，減少靶材維護和更新的頻率，從而提高設(shè)備的稼動率，降低客戶的綜合使用成本。

　　Max表示，和非晶硅TFT相比，LTPS最大的貢獻就是可以實現(xiàn)更高的解析度與快速響應(yīng)。由于它的工藝相對復(fù)雜，制造成本較高，在過去的很長一段時間都只限于在較小尺寸的基板上進行生產(chǎn)。近幾年，隨著市場對高解析度移動終端需求的強勁增長，以及各個面板廠商和設(shè)備廠商在LTPS領(lǐng)域的技術(shù)提升，目前我們看到最新的LTPS TFT 的投資大多已是6代線工廠。 談到金屬氧化物技術(shù)，Max認為，“由于其較為容易在大尺寸基板上實現(xiàn)，同時它的低漏電率可起到很好的節(jié)能效果，又與現(xiàn)有設(shè)備和制程有一定的兼容性，目前其較大的應(yīng)用是在大尺寸的移動終端設(shè)備如平板電腦或筆記本電腦顯示屏上。另外，因為金屬氧化物TFT也是OLED TV 背板的主導(dǎo)技術(shù)之一，我們相信其在平板顯示領(lǐng)域會有相當(dāng)大的市場和應(yīng)用前景。”

　　隨著近兩年的投資擴建，特別是大世代液晶面板線在中國的陸續(xù)建立，Max認為在未來兩到三年的時間內(nèi)可能會出現(xiàn)小幅度的結(jié)構(gòu)性產(chǎn)能過剩，但高端移動產(chǎn)品（超高清、OLED等移動顯示產(chǎn)品）仍然擁有一定的價格和盈利優(yōu)勢。隨著終端市場競爭日益激烈，對于中國的LTPS生產(chǎn)企業(yè)而言，如何快速地實現(xiàn)量產(chǎn)，提升良率將成為制勝的關(guān)鍵。

　　應(yīng)用材料公司針對半導(dǎo)體、平板顯示和太陽能光伏行業(yè)所需的精密材料工程解決方案方面有著悠久歷史，憑借在半導(dǎo)體制造設(shè)備與服務(wù)領(lǐng)域的經(jīng)驗，能夠幫助客戶的低溫多晶硅面板廠縮短爬坡時間，盡快實現(xiàn)量產(chǎn)，優(yōu)化并提升良率等方面取得更大的成績。從2004年在北京設(shè)立中國第一個銷售服務(wù)中心，迄今應(yīng)用材料公司顯示事業(yè)部已經(jīng)在中國大陸建立了完善的基礎(chǔ)設(shè)施，包括六個以上現(xiàn)場服務(wù)中心和三個備品備件保稅倉庫，擁有豐富實戰(zhàn)經(jīng)驗、職業(yè)精神的銷售和售后服務(wù)團隊；同時，應(yīng)用材料公司還在臺灣建立了顯示技術(shù)研發(fā)實驗室，及時為中國大陸客戶提供合作研究、技術(shù)開發(fā)的便利條件。

　　作為平板顯示供應(yīng)鏈的最前端，Max表示，應(yīng)用材料公司未來愿聚焦于客戶的高附加價值問題的解決方案，為中國平板顯示客戶提供更先進的設(shè)備和工藝，及時開發(fā)新的技術(shù)和設(shè)備，提高器件品質(zhì)和良率，為中國平板顯示行業(yè)作出自己的貢獻。