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　　近十年來，中國平板顯示產(chǎn)業(yè)已取得跨越式的發(fā)展，行業(yè)規(guī)模不斷擴大，相關(guān)技術(shù)也日益成熟。然而，在關(guān)鍵材料和設(shè)備的應用上，中國平板顯示產(chǎn)業(yè)仍然依賴國外企業(yè)。幸而，一批國內(nèi)企業(yè)正不余遺力在關(guān)鍵材料與設(shè)備進行研發(fā)，并在很多關(guān)鍵領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了突破。昨天上午，深圳市清溢光電8.5代TFT掩模版成功下線，打破了國外企業(yè)在大尺寸TFT掩模版這一領(lǐng)域的技術(shù)壟斷。目前，清溢光電已經(jīng)成為中國大陸首屈一指的掩模版的提供商。

　　由深圳清溢光電股份有限公司主辦，華星光電、中國光學光電子行業(yè)協(xié)會液晶分會、中國電子材料行業(yè)協(xié)會、深圳市平板顯示行業(yè)協(xié)會協(xié)辦的“2015年大尺寸TFT掩模版自主技術(shù)論證會”昨天在清溢光電大廈隆重舉行，國家工信部電子信息司副司長彭紅兵，深圳市發(fā)展和改革委員會賴向群處長，中國光學光電子行業(yè)協(xié)會液晶分會秘書長梁新清，深圳市平板顯示行業(yè)協(xié)會首席顧問孫政民、秘書長偰正才，清華大學高鴻錦教授、張百哲，天馬微電子總經(jīng)理劉靜瑜，華星光電副總裁趙勇等政府領(lǐng)導、中國電子技術(shù)標準化研究院與行業(yè)協(xié)會專家、企業(yè)代表參加了本次論證會。

　　本次論證會上，清溢光電總經(jīng)理朱雪華介紹，自1997年成立以來，清溢光電不斷創(chuàng)新努力，在掩模版領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了一個個新突破，特別是2014年9月清溢光電8.5G TFT用CF Mask順利制作下線并出貨給客戶，又一次填補了國內(nèi)空白，也為公司后續(xù)的發(fā)展奠定了新的方向和基礎(chǔ)。她表示，清溢光電未來將在政府與下游面板企業(yè)的支持下，不斷努力，在掩模版領(lǐng)域取得更多突破，為中國平板顯示產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵材料國產(chǎn)化做出更大的貢獻。

工信部電子信息司副司長彭紅兵

　　彭紅兵副司長表示，盡管中國平板顯示產(chǎn)業(yè)取得了初步的發(fā)展成績，但是在關(guān)鍵材料和設(shè)備上仍然發(fā)展滯后，這對產(chǎn)業(yè)鏈的安全性造成了很大的影響。他表示，工信部將繼續(xù)加大關(guān)鍵材料與設(shè)備產(chǎn)業(yè)配套的支持，貫通產(chǎn)業(yè)鏈，為產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供良好的發(fā)展環(huán)境。他也希望上下游企業(yè)要加強產(chǎn)業(yè)鏈聯(lián)動，實現(xiàn)關(guān)鍵材料的國產(chǎn)化，維護產(chǎn)業(yè)鏈的安全性。

　　賴向群處長表示，清溢光電大尺寸TFT掩模版對中國平板顯示產(chǎn)業(yè)的發(fā)展意義重大。深圳市未來也將繼續(xù)加大對類似清溢光電的產(chǎn)業(yè)配套企業(yè)的發(fā)展，完善平板顯示產(chǎn)業(yè)鏈。

　　清溢光電下游供應商華星光電、龍騰光電企業(yè)高層也發(fā)表講話。他們希望，清溢光電繼續(xù)降低大尺寸掩模版的成本，完善產(chǎn)品的技術(shù)指標。同時，他們也表示將繼續(xù)支持清溢光電在掩模版領(lǐng)域的國產(chǎn)化應用。

深圳市平板顯示行業(yè)協(xié)會首席顧問孫政民

　　在專家論證環(huán)節(jié)，現(xiàn)場各位專家分別發(fā)言，并對清溢光電大尺寸TFT掩模版成功下線發(fā)表了看法。其中，深圳市平板顯示行業(yè)協(xié)會首席顧問孫政民孫政民表示，清溢光電大尺寸TFT掩模版下線令人感到欣喜。他希望，清溢光電繼續(xù)加大在掩模版領(lǐng)域的技術(shù)與資金投入，不斷實現(xiàn)新技術(shù)突破，做世界級的掩模版供應商。

　　據(jù)清溢光電CTO李躍松介紹，TFT用掩模版都是由石英玻璃基板、鉻膜圖形及保護膜(pellicle)構(gòu)成。石英基板的尺寸從330mm×450mm到1220mm×1400mm，厚度從5mm到13mm。鉻膜厚度為0.1μm，圖形關(guān)鍵尺寸在4μm左右，主要技術(shù)指標均為亞微米級。雖然從數(shù)字看，8.5代和5代掩模版的精度相當，但8.5代TFT掩模版（1220mm×1400mm）面積達到1.7㎡，是第5代TFT掩模版（520mm X800mm）面積的4.1倍，要實現(xiàn)同等技術(shù)指標的難度系數(shù)要大很多，這在解決CD精度、TP精度、缺陷三大技術(shù)指標的過程中都有體現(xiàn)。另外8.5代TFT掩模版重量接近50公斤，“大而重”的特點，對解決玻璃自重變形、生產(chǎn)轉(zhuǎn)運、凈化包裝、防護等也形成一定的挑戰(zhàn)。通過自主研發(fā)，清溢光電已掌握8.5代及以下TFT掩模版的核心技術(shù)。目前，清溢光電8.5代TFT掩模版已通過華星光電的測試認證。

　　清溢光電副總經(jīng)理陶飛表示公司將在中國TFT掩模版自主化道路上繼續(xù)作出努力：第一，在產(chǎn)能上清溢光電將在2015年再投兩臺光刻機及相關(guān)的配套設(shè)備，以擴充產(chǎn)能，改善交貨能力，提供中國掩模版的自主化率。第二，在產(chǎn)品和技術(shù)上，實現(xiàn)G2.5-G8的TFT掩模版全覆蓋，服務(wù)好中國大陸的面板客戶；對于LTPS的掩摸版，將配合國內(nèi)廠家，做好產(chǎn)品開發(fā)。

　　此次，清溢光電8.5代TFT掩模版成功下線，打破了國內(nèi)8.5代TFT掩模版依賴進口的不利局面，對于促進我國TFT產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展、提升產(chǎn)業(yè)鏈競爭力具有重要的戰(zhàn)略意義。